排気システムでは、ULPAフィルターとHEPAフィルターを搭載。0.3μm以上の微細なゴミを99.999%まで捕集し、きれいな排気を実現する

排気システムでは、ULPAフィルターとHEPAフィルターを搭載。0.3μm以上の微細なゴミを99.999%まで捕集し、きれいな排気を実現する